双端音叉扫描探针测头系统及其测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410261914.3

申请日：

2014-06-12

公开(公告)号：

CN104020317A

公开(公告)日：

2014-09-03

发明(设计)人：

余惠娟黄强先韩彬胡小娟张蕤

申请人：

申请人地址：

230009 安徽省合肥市屯溪路193号

IPC主分类号：

G01Q7000

IPC分类号：

代理机构：

安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112

代理人：

余成俊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-17	授权	授权
2014-09-03	公开	公开
2014-10-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587262662 IPC(主分类):G01Q 70/00 专利申请号:2014102619143 申请日:20140612

共 50 条

[1]

双端音叉扫描探针测头系统 [P].

余惠娟 ;

黄强先 ;

韩彬 ;

胡小娟 ;

张蕤 .

中国专利 :CN203909069U ,2014-10-29

[2]

扫描探针显微镜系统及其测量方法 [P].

杨天保 ;

陈建 ;

丁喜冬 ;

赵亮兵 ;

罗永震 ;

付青 .

中国专利 :CN113092826A ,2021-07-09

[3]

双端音叉三维谐振触发探头系统及其真三维测量方法 [P].

余惠娟 ;

黄强先 ;

袁钰 ;

赵晓萌 ;

卞亚魁 .

中国专利 :CN104019736A ,2014-09-03

[4]

用于提高信噪比的扫描探针系统测量方法与扫描探针系统 [P].

周向前 .

中国专利 :CN119044544A ,2024-11-29

[5]

高信噪比的扫描探针测量方法与系统 [P].

周向前 ;

钮旋 .

中国专利 :CN118936304A ,2024-11-12

[6]

一种接触式扫描测头及其测量方法 [P].

仇谷烽 ;

崔旭东 .

中国专利 :CN104197853A ,2014-12-10

[7]

探针式测量系统及其测量方法 [P].

刘毅 ;

姜孝吾 ;

陈远流 ;

仇芳 ;

邹铭轩 .

中国专利 :CN109781047B ,2019-05-21

[8]

介电损耗扫描探针显微镜及其测量方法 [P].

丁喜冬 ;

熊小敏 ;

张进修 .

中国专利 :CN1632516A ,2005-06-29

[9]

双量程复合的激光测头装置及其表面测量方法 [P].

卢科青 ;

王文 ;

居冰峰 ;

曹衍龙 .

中国专利 :CN108519063B ,2018-09-11

[10]

机械连结的音叉-扫描探针振动系统 [P].

李升杰 ;

朴镜德 ;

金大粲 .

中国专利 :CN101893539B ,2010-11-24

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