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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-05-18 | 授权 | 授权 |
| 2022-09-13 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01K 1/00 变更事项:专利权人 变更前:北京方等传感器研究所有限公司 变更后:北京方等传感器研究所股份公司 变更事项:地址 变更前:101500 北京市密云县经济开发区科技路25号 变更后:101500 北京市密云县经济开发区科技路25号 |