晶圆表面缺陷的检测方法及其检测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111340689.9

申请日：

2021-11-12

公开(公告)号：

CN113916904B

公开(公告)日：

2022-01-11

发明(设计)人：

邓华夏马孟超龚兴龙

申请人：

申请人地址：

230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

G01N21956 G01N2155

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

孙蕾

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-09	授权	授权
2022-01-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/95 申请日:20211112
2022-01-11	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆表面缺陷检测系统 [P].

江静 ;

包峰 .

中国专利 :CN217822662U ,2022-11-15

[2]

晶圆表面缺陷检测方法及其装置 [P].

王上棋 ;

陈苗霈 ;

吴翰宗 ;

蔡佳琪 ;

李依晴 .

中国专利 :CN115127999A ,2022-09-30

[3]

一种晶圆表面缺陷的检测系统及检测方法 [P].

郭智勇 ;

方春钰 ;

蒋健君 .

中国专利 :CN121049259A ,2025-12-02

[4]

IC晶圆表面缺陷检测方法 [P].

刘西锋 ;

胡玉薇 .

中国专利 :CN108648168A ,2018-10-12

[5]

一种晶圆表面缺陷检测装置及晶圆表面缺陷检测方法 [P].

李守龙 ;

刘建华 ;

路中升 ;

罗强 .

中国专利 :CN113358662A ,2021-09-07

[6]

晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117808809A ,2024-04-02

[7]

晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117808809B ,2024-05-14

[8]

晶圆表面缺陷的检测方法及装置 [P].

顾颂 .

中国专利 :CN102054724A ,2011-05-11

[9]

晶圆表面缺陷检测方法及装置 [P].

刘立拓 ;

宋晓娇 ;

王驾驭 ;

王娜 ;

王盛阳 .

中国专利 :CN116840260B ,2024-05-10

[10]

晶圆表面缺陷检测方法和设备 [P].

石强 .

中国专利 :CN113344886A ,2021-09-03

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