一种多层金属-氧化硅-金属电容的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110391732.4

申请日：

2011-11-30

公开(公告)号：

CN102394215A

公开(公告)日：

2012-03-28

发明(设计)人：

毛智彪胡友存徐强

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

陆花

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-05-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101242112008 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2011103917324 申请日:20111130
2012-03-28	公开	公开
2014-07-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多层金属-氧化硅-金属电容的制作方法 [P].

毛智彪 ;

胡友存 ;

徐强 .

中国专利 :CN102437024A ,2012-05-02

[2]

多层金属-氧化物-金属电容的制作方法 [P].

毛智彪 ;

胡友存 ;

徐强 .

中国专利 :CN102437022A ,2012-05-02

[3]

多层金属-氧化硅-金属电容器的制作方法 [P].

毛智彪 ;

周军 ;

张月雨 ;

王丹 .

中国专利 :CN102779731A ,2012-11-14

[4]

多层金属-氧化硅-金属电容器的制作方法 [P].

毛智彪 ;

周军 ;

张月雨 ;

王丹 .

中国专利 :CN102779732A ,2012-11-14

[5]

多层金属-氧化硅-金属电容器的制作方法 [P].

毛智彪 ;

周军 ;

张月雨 ;

王丹 .

中国专利 :CN102779735A ,2012-11-14

[6]

多层金属-氧化硅-金属电容器的制作方法 [P].

毛智彪 ;

周军 ;

张月雨 ;

王丹 .

中国专利 :CN102779734A ,2012-11-14

[7]

一种多层金属-氧化物-金属电容的制作方法 [P].

毛智彪 ;

胡友存 ;

徐强 .

中国专利 :CN102437023A ,2012-05-02

[8]

金属-氧化物-金属电容的制作方法 [P].

毛智彪 ;

胡友存 ;

徐强 .

中国专利 :CN102386064B ,2012-03-21

[9]

金属-氧化硅-金属电容器的制作方法 [P].

毛智彪 ;

周军 ;

张月雨 ;

王丹 .

中国专利 :CN102779733A ,2012-11-14

[10]

金属-氧化硅-金属电容器的制作方法 [P].

毛智彪 ;

周军 ;

张月雨 ;

王丹 .

中国专利 :CN102779736A ,2012-11-14

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