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真空泵控制装置及真空泵、以及真空泵控制装置的组装方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201780064519.8
申请日：
2017-10-31
公开(公告)号：
CN109891100B
公开(公告)日：
2019-06-14
发明(设计)人：
冈田拓也
申请人：
申请人地址：
日本千叶县
IPC主分类号：
F04D1904
IPC分类号：
H05K714
H05K720
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
李婷;谭祐祥
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-06-14 | 公开 | 公开 |
| 2019-11-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):F04D 19/04 申请日:20171031 |
| 2022-05-13 | 授权 | 授权 |