研磨头、研磨装置以及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010079381.2

申请日：

2020-02-03

公开(公告)号：

CN111590463A

公开(公告)日：

2020-08-28

发明(设计)人：

林智雄

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

B24B3711

IPC分类号：

B24B3720 B24B3700 B24B3734 B24B100

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

刘文海

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-28	公开	公开
2021-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/11 申请日:20200203

共 50 条

[1]

研磨头以及研磨装置 [P].

林智雄 .

中国专利 :CN211805513U ,2020-10-30

[2]

研磨头、研磨装置以及研磨方法 [P].

金井洋介 .

日本专利 :CN119550245A ,2025-03-04

[3]

研磨头以及研磨装置 [P].

唐强 ;

徐依协 .

中国专利 :CN203622169U ,2014-06-04

[4]

研磨头以及研磨装置 [P].

赤泽贤一 ;

柏木诚 ;

石井游 ;

吉田笃史 ;

小林贤一 ;

户川哲二 ;

安田穗积 .

中国专利 :CN110919527A ,2020-03-27

[5]

研磨头以及研磨装置 [P].

柏木诚 ;

杜峯杰 ;

保科真穗 .

中国专利 :CN110026868B ,2019-07-19

[6]

研磨头的制造方法、研磨头以及研磨装置 [P].

大关正彬 ;

佐藤三千登 .

中国专利 :CN107427989A ,2017-12-01

[7]

研磨装置、研磨方法和研磨头 [P].

内山圭介 ;

小寺健治 .

日本专利 :CN120606325A ,2025-09-09

[8]

研磨装置、研磨头及研磨方法 [P].

北桥正光 ;

龟井利之 ;

武田英俊 ;

德永祐之 ;

田尻知朗 .

中国专利 :CN1684800A ,2005-10-19

[9]

研磨装置、研磨头以及保持环 [P].

安田穗积 ;

福岛诚 ;

锅谷治 .

中国专利 :CN106181751A ,2016-12-07

[10]

研磨机构、研磨头、研磨装置及研磨方法 [P].

坂下干也 ;

松井之辉 ;

侧濑聪文 .

中国专利 :CN112936089A ,2021-06-11

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