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晶圆全自动贴膜机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011129487.5
申请日：
2020-10-21
公开(公告)号：
CN112086386A
公开(公告)日：
2020-12-15
发明(设计)人：
彭文学
郑振平
钟贤青
刘秀东
慎厚清
申请人：
申请人地址：
201601 上海市松江区泗泾镇泗砖路351号7幢一楼7A-10
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
沧州市宏科专利代理事务所(普通合伙) 13134
代理人：
喻慧玲
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20201021 |
| 2020-12-15 | 公开 | 公开 |