一种离子束溅射镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011315012.5

申请日：

2020-11-20

公开(公告)号：

CN112481595A

公开(公告)日：

2021-03-12

发明(设计)人：

范江华胡凡陈特超毛朝斌罗超程文进

申请人：

申请人地址：

410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

IPC主分类号：

C23C1446

IPC分类号：

C23C1450 C23C1456

代理机构：

湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008

代理人：

戴玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/46 申请日:20201120
2021-03-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种离子束溅射镀膜设备 [P].

陈卫军 ;

欧阳增图 ;

刘凌海 .

中国专利 :CN222476730U ,2025-02-14

[2]

离子束溅射镀膜方法、靶材安装结构及离子束溅射设备 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114318274A ,2022-04-12

[3]

一种扫描离子束溅射镀膜装置及方法 [P].

刘青蓝 .

中国专利 :CN117626207A ,2024-03-01

[4]

离子束溅射镀膜方法、靶材安装结构及离子束溅射设备 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114318274B ,2024-06-11

[5]

离子束溅射镀膜机 [P].

李求恕 ;

王文魁 ;

郭东民 ;

冯彬 ;

曾志群 ;

阎佐健 ;

刘军 ;

戚晖 ;

潘福全 ;

鲁向群 ;

吕祺 .

中国专利 :CN2399400Y ,2000-10-04

[6]

利用离子束溅射制备薄膜的方法、离子束溅射镀膜装置 [P].

霍永恒 ;

钟东勳 ;

李珂宇 ;

潘建伟 .

中国专利 :CN119876869B ,2025-06-10

[7]

利用离子束溅射制备薄膜的方法、离子束溅射镀膜装置 [P].

霍永恒 ;

钟东勳 ;

李珂宇 ;

潘建伟 .

中国专利 :CN119876869A ,2025-04-25

[8]

多功能离子束溅射设备 [P].

龙世兵 ;

刘明 ;

陈宝钦 ;

谢常青 ;

贾锐 ;

徐连生 .

中国专利 :CN101880862B ,2010-11-10

[9]

用于oxford离子束溅射镀膜机的复合溅射靶材 [P].

陈帛雄 ;

单凡 ;

李县洛 ;

张爱民 .

中国专利 :CN106342099B ,2011-06-08

[10]

一种离子束清洗和离子束溅射镀膜两用的装置 [P].

陈江 ;

李鸿亚 ;

华强 ;

周利华 ;

杨强 ;

石新权 ;

姜岳峰 ;

牛书通 ;

雷震 ;

李文腾 .

中国专利 :CN115612980A ,2023-01-17

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