一种用于激光波前检测的低频外差干涉仪

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610237106.2

申请日：

2016-04-15

公开(公告)号：

CN105784129A

公开(公告)日：

2016-07-20

发明(设计)人：

张文喜李杨相里斌伍洲孔新新吕笑宇刘志刚郭晓丽

申请人：

申请人地址：

100080 北京市海淀区中关村东路95号

IPC主分类号：

G01J902

IPC分类号：

代理机构：

北京凯特来知识产权代理有限公司 11260

代理人：

郑立明;郑哲

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-07-20	公开	公开
2016-08-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101674719557 IPC(主分类):G01J 9/02 专利申请号:2016102371062 申请日:20160415

共 50 条

[1]

一种全视场低频外差干涉仪 [P].

李杨 ;

张文喜 ;

相里斌 ;

伍洲 ;

孔新新 ;

吕笑宇 ;

刘志刚 ;

郭晓丽 .

中国专利 :CN105571516A ,2016-05-11

[2]

一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪 [P].

李杨 ;

张文喜 ;

相里斌 ;

伍洲 ;

孔新新 ;

吕笑宇 ;

刘志刚 ;

郭晓丽 .

中国专利 :CN105928454A ,2016-09-07

[3]

一种全视场低频外差点衍射干涉仪 [P].

张文喜 ;

李杨 ;

相里斌 ;

伍洲 ;

孔新新 ;

吕笑宇 ;

刘志刚 ;

郭晓丽 .

中国专利 :CN105674875A ,2016-06-15

[4]

一种基于声光低频差移相的双孔外差干涉仪 [P].

张文喜 ;

李杨 ;

相里斌 ;

伍洲 ;

孔新新 ;

吕笑宇 ;

刘志刚 ;

郭晓丽 .

中国专利 :CN105698702B ,2016-06-22

[5]

一种激光外差干涉仪解调系统 [P].

冯秀娟 ;

柯伟 ;

何龙标 ;

牛锋 ;

杨平 ;

秦朝琪 .

中国专利 :CN112526910A ,2021-03-19

[6]

基于低频差声光移频器移相的外差干涉仪 [P].

相里斌 ;

张文喜 ;

吕笑宇 ;

孔新新 ;

李杨 ;

伍洲 ;

周志盛 .

中国专利 :CN104296678B ,2015-01-21

[7]

透射波前检测干涉仪 [P].

唐锋 ;

王向朝 ;

徐静浩 ;

卢云君 ;

郭福东 .

中国专利 :CN109029245A ,2018-12-18

[8]

干涉仪系统、波前分析系统、投射系统、光刻装置和用于分析外差干涉仪系统的光束的波前的方法 [P].

M·J·詹森 .

:CN120752581A ,2025-10-03

[9]

外差干涉仪的激光方位调整装置 [P].

赵慧洁 ;

张广军 .

中国专利 :CN2589933Y ,2003-12-03

[10]

用于测量晶片台平移的外差激光干涉仪 [P].

W·克莱·施卢赫特尔 .

中国专利 :CN1699914A ,2005-11-23

← 1 2 3 4 5 →