一种低温高电阻温度系数无热滞薄膜材料及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310496560.6

申请日：

2013-10-21

公开(公告)号：

CN103540903B

公开(公告)日：

2014-01-29

发明(设计)人：

金平实曹逊周怀娟姜萌罗宏杰

申请人：

申请人地址：

200050 上海市长宁区定西路1295号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261

代理人：

曹芳玲;郑优丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101576165634 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2013104965606 申请日:20131021
2016-01-06	授权	授权
2014-01-29	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高电阻温度系数氧化钒热敏薄膜材料及其制备方法 [P].

顾德恩 ;

孙站红 ;

郭瑞 ;

王涛 ;

蒋亚东 ;

王洪 ;

卢斐 .

中国专利 :CN104878358B ,2015-09-02

[2]

一种极低电阻温度系数的埋嵌电阻薄膜材料及制备方法 [P].

徐永兵 ;

王灿 ;

严羽 .

中国专利 :CN119381104A ,2025-01-28

[3]

一种极低电阻温度系数的埋嵌电阻薄膜材料及制备方法 [P].

徐永兵 ;

王灿 ;

严羽 .

中国专利 :CN119381104B ,2025-11-14

[4]

一种高电阻温度系数二氧化钒薄膜及其低温沉积方法 [P].

曹逊 ;

金平实 ;

孙光耀 ;

李荣 .

中国专利 :CN108070835B ,2018-05-25

[5]

一种高电阻高电阻温度系数的合金材料及其制备方法 [P].

周圣杰 ;

周煜 ;

陈小伟 ;

李建成 ;

张新元 .

中国专利 :CN102888537B ,2013-01-23

[6]

一种高电阻温度系数铂薄膜及其制备方法 [P].

蒲健 ;

陈茂 ;

冯江涛 ;

池波 .

中国专利 :CN114807859B ,2024-07-02

[7]

一种高电阻温度系数铂薄膜及其制备方法 [P].

蒲健 ;

陈茂 ;

冯江涛 ;

池波 .

中国专利 :CN114807859A ,2022-07-29

[8]

一种低温度系数高电阻率热敏材料及其制备方法 [P].

陶明德 ;

唐本栋 ;

周军有 .

中国专利 :CN101618962A ,2010-01-06

[9]

一种高电阻温度系数氧化钒薄膜制备方法 [P].

韦良忠 ;

朱汪龙 ;

刘燕 ;

陈黎明 .

中国专利 :CN103882389A ,2014-06-25

[10]

一种高电阻温度系数氧化钒热敏薄膜及其制备方法 [P].

左元呈 ;

赵玉杰 ;

丁雪峰 .

中国专利 :CN118531350A ,2024-08-23

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