一种石墨烯晶圆的制备方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910789995.7

申请日：

2019-08-26

公开(公告)号：

CN112435915A

公开(公告)日：

2021-03-02

发明(设计)人：

刘忠范姜蓓高翾

申请人：

申请人地址：

100095 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

C01B32186 H01L2168 C23C1654

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司 11438

代理人：

吴娅妮;于宝庆

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20190826
2021-03-02	公开	公开

共 50 条

[1]

一种石墨烯晶圆的制备方法及装置 [P].

刘忠范 ;

姜蓓 ;

高翾 .

中国专利 :CN112435915B ,2024-07-02

[2]

一种石墨烯晶圆的转移方法、石墨烯晶圆及鼓泡体系 [P].

彭海琳 ;

刘忠范 ;

阎睿 ;

唐际琳 ;

杜音 .

中国专利 :CN111232964B ,2020-06-05

[3]

一种制备石墨烯薄膜的装置、方法及所得石墨烯薄膜 [P].

彭鹏 ;

金虎 .

中国专利 :CN102492934A ,2012-06-13

[4]

一种石墨烯的制备方法及石墨烯 [P].

黄云鸿 .

中国专利 :CN106315568A ,2017-01-11

[5]

一种石墨烯粉体及其制备方法 [P].

张锦 ;

许世臣 ;

高振飞 ;

孙阳勇 ;

刘海舟 .

中国专利 :CN110282617A ,2019-09-27

[6]

一种石墨烯晶圆的转移方法 [P].

彭海琳 ;

刘忠范 ;

阎睿 ;

邓兵 ;

唐际琳 ;

杜音 ;

蔡阿利 .

中国专利 :CN110581063A ,2019-12-17

[7]

一种石墨烯的制备方法 [P].

金闯 ;

杨晓明 .

中国专利 :CN104099577B ,2014-10-15

[8]

一种石墨烯的制备方法 [P].

刘科海 ;

乐湘斌 ;

张志强 ;

何梦林 ;

黄智 ;

王恩哥 .

中国专利 :CN112938946B ,2021-06-11

[9]

一种制备石墨烯的装置及方法 [P].

林朝晖 .

中国专利 :CN106145092A ,2016-11-23

[10]

一种石墨烯膜及其制备方法 [P].

任文才 ;

马超群 ;

刘海超 ;

成会明 .

中国专利 :CN114229837A ,2022-03-25

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