一种高性能硅片导入装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201120156178.7
申请日
2011-05-16
公开(公告)号
CN202076307U
公开(公告)日
2011-12-14
发明(设计)人
梁明刚
申请人
申请人地址
523000 广东省东莞市樟木头镇樟洋社区富竹二街8号楼
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
H01L2168
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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