喷淋式蚀刻机过滤装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201220017174.5
申请日
2012-01-16
公开(公告)号
CN202427245U
公开(公告)日
2012-09-12
发明(设计)人
李福春 蒲中军 邓飞 唐忠于 诸且桓 唐毅强 向勇 黄毅 李正元 赵兴华 黄立雄 李辉 张以洪 蒲琨 王勇 李云路 钱华军 刘俊杰 谢秋乙 阳利民 何世彬 舒茜 王晓 黎岸 廖志勇
申请人
申请人地址
610000 四川省成都市郫县成都现代工业港西源大道2298号
IPC主分类号
B01D3502
IPC分类号
B01D2950 B01D2903 C03B1500
代理机构
成都蓉信三星专利事务所 51106
代理人
杨春
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
蚀刻机药水过滤装置 [P]. 
郭满锋 .
中国专利 :CN212881300U ,2021-04-06
[2]
一种蚀刻机过滤装置 [P]. 
邹杰 ;
邹林 .
中国专利 :CN223393086U ,2025-09-30
[3]
一种喷淋式蚀刻机 [P]. 
庄建平 ;
庄杰斌 ;
梁佐钦 ;
黄海英 .
中国专利 :CN216891224U ,2022-07-05
[4]
一种喷淋式蚀刻机 [P]. 
马胜南 ;
陈永春 .
中国专利 :CN222923246U ,2025-05-30
[5]
喷淋蚀刻机 [P]. 
蒲中军 ;
邓飞 ;
徐晓君 ;
王川 ;
吴永寿 ;
宣继 ;
李政昊 ;
王月利 ;
钟耀 ;
邓欢 .
中国专利 :CN104445969A ,2015-03-25
[6]
喷淋蚀刻机 [P]. 
蒲中军 ;
邓飞 ;
徐晓君 ;
王川 ;
吴永寿 ;
宣继 ;
李政昊 ;
王月利 ;
钟耀 ;
邓欢 .
中国专利 :CN204174097U ,2015-02-25
[7]
喷淋蚀刻机 [P]. 
顾叶锋 ;
王娟 ;
吴蕴瑶 .
中国专利 :CN214937812U ,2021-11-30
[8]
顶喷式喷淋蚀刻机 [P]. 
蒲中军 ;
邓飞 ;
徐晓君 ;
吴华毅 ;
王川 ;
宣继 ;
李政昊 ;
郭继永 ;
邓欢 .
中国专利 :CN106186712A ,2016-12-07
[9]
一种螺旋式多级过滤装置 [P]. 
张云辉 ;
贾国斌 ;
王鲲鹏 .
中国专利 :CN210229289U ,2020-04-03
[10]
一种喷淋装置以及蚀刻机 [P]. 
贺海龙 .
中国专利 :CN211240332U ,2020-08-11