等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010139852.0

申请日：

2010-03-30

公开(公告)号：

CN101853764A

公开(公告)日：

2010-10-06

发明(设计)人：

舆水地盐

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01J3730 H01J3704

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;陈立航

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713562198 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2010101398520 申请公布日:20101006
2010-11-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101017288376 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2010101398520 申请日:20100330
2010-10-06	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理装置 [P].

桧森慎司 ;

林大辅 ;

清水昭贵 .

中国专利 :CN102110574B ,2011-06-29

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

丸山幸儿 ;

堀口将人 ;

松木哲理 ;

舆石公 .

中国专利 :CN105379428B ,2016-03-02

[4]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

本田昌伸 .

中国专利 :CN102209426B ,2011-10-05

[5]

等离子体处理装置和等离子体产生装置 [P].

加藤寿 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103805968A ,2014-05-21

[6]

等离子体处理装置 [P].

阿部寿治 ;

高桥俊树 ;

松浦广行 .

中国专利 :CN100474526C ,2007-08-01

[7]

等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

古屋敦城 .

中国专利 :CN108476584B ,2018-08-31

[8]

等离子体处理装置 [P].

泽田郁夫 ;

P·芬泽克 ;

大下辰郎 ;

松崎和爱 ;

康松润 .

中国专利 :CN101601125B ,2009-12-09

[9]

等离子体处理装置 [P].

山岸幸司 ;

池田宽 ;

近藤宽之 .

中国专利 :CN113394069A ,2021-09-14

[10]

等离子体处理装置 [P].

林大辅 .

中国专利 :CN102110573A ,2011-06-29

← 1 2 3 4 5 →