一种谐振式硅微传感器下膜片

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120340808.X

申请日：

2021-02-05

公开(公告)号：

CN214121492U

公开(公告)日：

2021-09-03

发明(设计)人：

袁盛勇邓毅

申请人：

申请人地址：

610000 四川省成都市新都区工业东区金泰路639号

IPC主分类号：

G01L1900

IPC分类号：

G01L1906 B01D2901

代理机构：

苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385

代理人：

邵永永

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-03	授权	授权

共 50 条

[1]

谐振式硅微传感器下膜片的加工方法 [P].

张淑芬 .

中国专利 :CN106495091A ,2017-03-15

[2]

谐振式硅微传感器上膜片加工方法 [P].

张淑芬 .

中国专利 :CN106379857A ,2017-02-08

[3]

压电谐振膜片式传感器 [P].

叶林 ;

张杰 ;

张洪 .

中国专利 :CN2919209Y ,2007-07-04

[4]

一种新型硅微谐振式压力传感器 [P].

曹慧亮 ;

啜森慧 ;

王晓毅 ;

张帅龙 ;

周湄怡 ;

陈康富 ;

陈倩 ;

曹凯强 ;

谢会开 .

中国专利 :CN120760899A ,2025-10-10

[5]

棉条检测硅微传感器 [P].

蒋庄德 ;

赵玉龙 .

中国专利 :CN2453020Y ,2001-10-10

[6]

一种单晶硅谐振式密度传感器 [P].

张传洲 .

中国专利 :CN205580920U ,2016-09-14

[7]

谐振式传感器 [P].

杨斌堂 ;

刘鲁楠 ;

杨诣坤 .

中国专利 :CN210741516U ,2020-06-12

[8]

一种硅谐振压力传感器 [P].

李佩宁 ;

钟长志 ;

李晓波 ;

陈婷婷 .

中国专利 :CN223727309U ,2025-12-26

[9]

一种全对称硅微谐振式压力传感器 [P].

王凌云 ;

江毅文 ;

杜江 ;

吕文龙 ;

张弛 ;

邹建男 ;

孙道恒 .

中国专利 :CN102162756A ,2011-08-24

[10]

一种硅微谐振加速度传感器 [P].

樊晓红 .

中国专利 :CN103163327A ,2013-06-19

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