一种硅片加工处理装置及处理工艺

被引：0

申请号：

CN202211246145.0

申请日：

2022-10-12

公开(公告)号：

CN115472537A

公开(公告)日：

2022-12-13

发明(设计)人：

刘园袁祥龙赵洋武卫刘建伟祝斌刘姣龙裴坤羽孙晨光王彦君张宏杰由佰玲常雪岩杨春雪谢艳刘秒吕莹徐荣清

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B102 B08B302 B08B308 B24B27033 B24B4106 F26B2100 F26B508

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20221012
2022-12-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅片加工处理装置 [P].

刘园 ;

袁祥龙 ;

赵洋 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

张宏杰 ;

由佰玲 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN218498031U ,2023-02-17

[2]

一种硅片表面处理工艺 [P].

杨山锐 ;

徐杰 ;

李盼龙 ;

蒋大金 .

中国专利 :CN118867040A ,2024-10-29

[3]

一种木材处理工艺及处理装置 [P].

刘鹏 ;

刘微 ;

刘柳 .

中国专利 :CN119773018A ,2025-04-08

[4]

一种废气处理装置及处理工艺 [P].

朱文卿 ;

朱文浩 ;

焦利卡 ;

焦亮 .

中国专利 :CN114191966A ,2022-03-18

[5]

一种污泥处理装置及处理工艺 [P].

杨开宇 ;

王国星 ;

王芹 .

中国专利 :CN107162384A ,2017-09-15

[6]

一种半导体硅片耐磨处理工艺 [P].

董玲玲 ;

牛建新 .

中国专利 :CN111041540A ,2020-04-21

[7]

一种基于表面处理的模具表面处理装置及处理工艺 [P].

符智慧 ;

金再辉 ;

方杰 .

中国专利 :CN119703976A ,2025-03-28

[8]

一种水产加工废水处理工艺及处理装置 [P].

李理 ;

许亮 ;

孙晓波 .

中国专利 :CN108483826A ,2018-09-04

[9]

一种VOCs废气处理工艺及处理装置 [P].

赵新立 .

中国专利 :CN107485977A ,2017-12-19

[10]

一种硫酸尾气处理装置及处理工艺 [P].

王宏亮 ;

郭付俊 ;

姚卫峰 ;

刘立国 ;

陆维杰 ;

程晖 ;

施月东 ;

曾静 .

中国专利 :CN111228977A ,2020-06-05

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