坩埚喷涂加热旋转台的温控方法

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专利类型
发明
申请号
CN201110185268.3
申请日
2011-07-04
公开(公告)号
CN102344253A
公开(公告)日
2012-02-08
发明(设计)人
应建平 徐志军 刘平
申请人
申请人地址
213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号
IPC主分类号
C03C1722
IPC分类号
代理机构
常州市维益专利事务所 32211
代理人
王凌霄
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
具有温度检测装置的坩埚喷涂加热旋转台 [P]. 
应建平 ;
徐志军 ;
刘平 .
中国专利 :CN202162122U ,2012-03-14
[2]
坩埚喷涂烘烤旋转台 [P]. 
刘华成 .
中国专利 :CN102198441A ,2011-09-28
[3]
坩埚喷涂烘烤旋转台 [P]. 
刘华成 .
中国专利 :CN202180034U ,2012-04-04
[4]
用于坩埚喷涂加热旋转台的硅胶垫加热板 [P]. 
应建平 ;
李洪洪 ;
徐志军 .
中国专利 :CN202131225U ,2012-02-01
[5]
用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置 [P]. 
应建平 ;
李洪洪 ;
朱正春 .
中国专利 :CN202180030U ,2012-04-04
[6]
铸锭坩埚加热旋转台 [P]. 
应建平 ;
杨晓忠 ;
李洪洪 .
中国专利 :CN202162126U ,2012-03-14
[7]
用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置 [P]. 
应建平 ;
刘平 ;
朱正春 .
中国专利 :CN202162123U ,2012-03-14
[8]
多晶铸锭用坩埚喷涂加热旋转台 [P]. 
肖延华 ;
邸维刚 ;
刘垚 ;
张祥 .
中国专利 :CN207493919U ,2018-06-15
[9]
一种用于坩埚喷涂加热旋转台的硅胶垫加热板 [P]. 
应建平 ;
李洪洪 ;
徐志军 .
中国专利 :CN102310036A ,2012-01-11
[10]
节能型多晶铸锭用坩埚喷涂加热旋转台 [P]. 
张继兵 ;
应建平 .
中国专利 :CN202164382U ,2012-03-14