一种氧化铝薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110396374.6

申请日：

2011-12-04

公开(公告)号：

CN102409293A

公开(公告)日：

2012-04-11

发明(设计)人：

王金晓冯煜东王艺王志民赵慨速小梅王虎杨淼

申请人：

申请人地址：

730000 甘肃省兰州市城关区渭源路97号

IPC主分类号：

C23C1408

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

北京理工大学专利中心 11120

代理人：

杨志兵;李爱英

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-04-11	公开	公开
2012-05-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101250939235 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:2011103963746 申请日:20111204
2014-01-01	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101684503168 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:2011103963746 申请公布日:20120411

共 50 条

[1]

氧化铝薄膜的制备方法 [P].

金润洙 ;

安基硕 ;

李善淑 ;

郑泽模 ;

曺源泰 ;

成耆焕 .

中国专利 :CN1675404A ,2005-09-28

[2]

氧化铝薄膜的制备方法 [P].

张伟丽 ;

余振 ;

朱瑞 ;

易葵 ;

刘晓凤 ;

王胭脂 ;

朱美萍 ;

邵建达 .

中国专利 :CN111270208A ,2020-06-12

[3]

一种电磁感应加热线圈氧化铝薄膜的制备方法 [P].

曹培 ;

张青 ;

王定堃 ;

沈杰 .

中国专利 :CN113512707A ,2021-10-19

[4]

多孔氧化铝薄膜的制备方法 [P].

吴昊 .

中国专利 :CN101608331B ,2009-12-23

[5]

一种纳米氧化铝薄膜的制备方法 [P].

方长青 ;

蒲梦园 ;

周星 ;

朱怡同 ;

李欢 ;

李航 .

中国专利 :CN107686121A ,2018-02-13

[6]

一种高阻隔氧化铝薄膜制备的抽真空装置 [P].

蒋芙蓉 ;

潘尚富 .

中国专利 :CN223214171U ,2025-08-12

[7]

有序多孔氧化铝薄膜的制备方法 [P].

李东栋 ;

姜传海 ;

李萍 ;

任鑫 .

中国专利 :CN101104944A ,2008-01-16

[8]

基于多孔氧化铝的薄膜组件及其制备方法 [P].

孙树清 ;

曹骏 ;

孙翔宇 ;

王桂强 ;

王春楠 ;

弥胜利 ;

谢伟东 .

中国专利 :CN108675258B ,2018-10-19

[9]

一种高K介质材料氧化铝薄膜的制备方法 [P].

周继承 ;

郭艳 ;

姜炳春 ;

郭艳宏 .

中国专利 :CN119411101A ,2025-02-11

[10]

一种超光滑氧化铝薄膜的制备方法 [P].

陈玲 ;

李朝伟 ;

陈秋 .

中国专利 :CN112225467A ,2021-01-15

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