钻针高效研磨装置及其研磨工艺

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201811435716.9
申请日
2018-11-28
公开(公告)号
CN109531292A
公开(公告)日
2019-03-29
发明(设计)人
刘继承 伍超 柳正华
申请人
申请人地址
516000 广东省惠州市惠城区三栋数码工业园25号(厂房A)
IPC主分类号
B24B324
IPC分类号
B24B4100 B24B4916 B24B4106 B24B5500
代理机构
惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349
代理人
陈文福
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
钻针高效研磨装置 [P]. 
刘继承 ;
浦长芬 ;
李强 .
中国专利 :CN209466037U ,2019-10-08
[2]
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朱礼峰 ;
孙进德 .
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[3]
一种晶圆研磨装置及其研磨工艺 [P]. 
翁裕斌 ;
胡友德 ;
翁伊宁 ;
朱献悦 .
中国专利 :CN114633162A ,2022-06-17
[4]
钻针研磨装置 [P]. 
李克顺 .
中国专利 :CN203945230U ,2014-11-19
[5]
钻针研磨装置 [P]. 
李克顺 .
中国专利 :CN104029098A ,2014-09-10
[6]
钻针研磨装置及其方法 [P]. 
许文铭 .
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[7]
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牛成诚 ;
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[8]
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[9]
镜板研磨工艺 [P]. 
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[10]
石英晶片研磨工艺 [P]. 
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董建峰 ;
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