一种真空镀膜装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202121461620.7
申请日
2021-06-30
公开(公告)号
CN215628253U
公开(公告)日
2022-01-25
发明(设计)人
杨俊 陈雨 吴颖 臧世伟
申请人
申请人地址
404100 重庆市綦江区古南街道陵园路28号
IPC主分类号
C23C1424
IPC分类号
C23C1414
代理机构
深圳市深可信专利代理有限公司 44599
代理人
刘昌刚
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
真空镀膜装置 [P]. 
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[2]
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[3]
真空镀膜装置 [P]. 
王昆 .
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[4]
一种真空镀膜装置 [P]. 
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[5]
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