五轴差分干涉仪

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210394472.0

申请日：

2012-10-17

公开(公告)号：

CN102878923A

公开(公告)日：

2013-01-16

发明(设计)人：

陈建芳程兆谷程亚黄惠杰池峰

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G01B902

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-24	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101716930597 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2012103944720 申请公布日:20130116
2013-01-16	公开	公开
2013-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101401521319 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2012103944720 申请日:20121017

共 50 条

[1]

五轴平镜干涉仪 [P].

程兆谷 ;

陈建芳 ;

程亚 ;

黄惠杰 ;

池峰 .

中国专利 :CN102889854A ,2013-01-23

[2]

四轴4细分干涉仪 [P].

程兆谷 ;

陈建芳 ;

程亚 ;

黄惠杰 ;

池峰 .

中国专利 :CN102353325A ,2012-02-15

[3]

六轴4细分干涉仪 [P].

陈建芳 ;

程兆谷 ;

程亚 ;

黄惠杰 ;

池峰 .

中国专利 :CN102288104B ,2011-12-21

[4]

差分干涉仪装置 [P].

王宁 ;

揭小军 ;

邹泽华 ;

凡顺利 .

中国专利 :CN112747667B ,2021-05-04

[5]

一种U轴干涉仪结构 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109141222A ,2019-01-04

[6]

差分干涉仪模块和具有差分干涉仪模块的光刻系统 [P].

G·德博尔 ;

T·A·乌姆斯 ;

N·弗奇尔 ;

G·C·A·库维利尔斯 .

中国专利 :CN202793315U ,2013-03-13

[7]

具有差分干涉仪模块的光刻系统 [P].

G·德博尔 ;

T·A·乌姆斯 ;

N·弗奇尔 ;

G·C·A·库维利尔斯 .

中国专利 :CN102735170B ,2012-10-17

[8]

一种吸收激光差分干涉仪 [P].

汪球 ;

张一童 ;

黄荧璟 ;

喻江 ;

张红军 ;

李海群 .

中国专利 :CN120609391A ,2025-09-09

[9]

改善周期非线性的差分干涉仪 [P].

约翰·J·伯克曼 ;

卢德米拉·M·戈扬斯卡亚 ;

肯尼思·J·韦恩 ;

朱淼 .

中国专利 :CN1702428A ,2005-11-30

[10]

一种长波红外多普勒差分干涉仪 [P].

冯玉涛 ;

韩斌 ;

张兆会 ;

李立波 ;

畅晨光 ;

白清兰 .

中国专利 :CN209878593U ,2019-12-31

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