极紫外多层膜反射式单级衍射光栅

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610388681.2

申请日：

2016-06-02

公开(公告)号：

CN106094084A

公开(公告)日：

2016-11-09

发明(设计)人：

李海亮史丽娜牛洁斌王冠亚谢常青刘明

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G02B518

IPC分类号：

代理机构：

北京汇泽知识产权代理有限公司 11228

代理人：

张瑾

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-09	公开	公开
2019-11-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G02B 5/18 申请公布日:20161109
2016-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101690436264 IPC(主分类):G02B 5/18 专利申请号:2016103886812 申请日:20160602

共 37 条

[1]

反射式单级衍射光栅及其制造方法 [P].

朱效立 ;

谢常青 ;

刘明 ;

牛洁斌 ;

华一磊 ;

施百龄 .

中国专利 :CN107315211A ,2017-11-03

[2]

一种极紫外单级衍射光栅 [P].

浦探超 ;

刘子维 ;

史丽娜 ;

谢常青 ;

李海亮 ;

牛洁斌 ;

刘明 .

中国专利 :CN106646710A ,2017-05-10

[3]

一种透射与反射式单级衍射光栅谱仪 [P].

陈勇 .

中国专利 :CN207763829U ,2018-08-24

[4]

厚体硅反射式单级衍射光栅的制作方法 [P].

朱效立 ;

施百龄 ;

谢常青 ;

华一磊 .

中国专利 :CN107305260B ,2017-10-31

[5]

一种透射与反射式单级衍射光栅谱仪 [P].

陈勇 .

中国专利 :CN107843342A ,2018-03-27

[6]

反射式艾里环衍射光栅 [P].

储修祥 ;

陈瑞品 .

中国专利 :CN102540303A ,2012-07-04

[7]

制造反射式衍射光栅 [P].

H-K·尼恩海斯 ;

S·T·范德波斯特 .

中国专利 :CN113711090A ,2021-11-26

[8]

一种用于极紫外的二维单级衍射光栅 [P].

刘子维 ;

浦探超 ;

史丽娜 ;

谢常青 ;

王冠亚 ;

李海亮 ;

牛洁斌 ;

刘明 .

中国专利 :CN106959482B ,2017-07-18

[9]

矩形孔单级衍射光栅 [P].

曹磊峰 ;

刘钰薇 ;

魏来 ;

杨祖华 .

中国专利 :CN103901519B ,2014-07-02

[10]

优化的电介质反射式衍射光栅 [P].

尼古拉斯·博诺 ;

让-保尔·尚巴雷 .

中国专利 :CN102812388A ,2012-12-05

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