一种基于压电薄膜形变的差动式微型电场传感器件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111043968.9

申请日：

2021-09-07

公开(公告)号：

CN113640591B

公开(公告)日：

2021-11-12

发明(设计)人：

何金良韩志飞胡军张波

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华园

IPC主分类号：

G01R2912

IPC分类号：

G01R2726

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

张文宝

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-29	授权	授权
2021-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 29/12 申请日:20210907
2021-11-12	公开	公开

共 50 条

[1]

压电悬臂梁式微型电场传感器 [P].

夏善红 ;

冯可 ;

佟建华 ;

方东明 .

中国专利 :CN103675481B ,2014-03-26

[2]

一种电场力驱动的悬臂式微型电场传感器 [P].

何金良 ;

韩志飞 ;

胡军 ;

余占清 .

中国专利 :CN114113812B ,2022-03-01

[3]

一种压电驱动微型电场传感器 [P].

冯可 ;

肖蕾 ;

刘楠 ;

许斌 .

中国专利 :CN222774622U ,2025-04-18

[4]

基于压电效应的高精度高场强电容式微型电场测量传感器件 [P].

胡军 ;

薛芬 ;

何金良 ;

杨钧清 ;

王善祥 ;

张波 ;

曾嵘 .

中国专利 :CN109212328A ,2019-01-15

[5]

一种振动式微型电场传感器 [P].

向美华 .

中国专利 :CN215986274U ,2022-03-08

[6]

压电自反馈激励式微型电场传感器、电场检测方法及传感器 [P].

彭春荣 ;

刘文杰 ;

毋正伟 .

中国专利 :CN119556014A ,2025-03-04

[7]

双端固支压电梁式微型电场传感器 [P].

夏善红 ;

冯可 ;

佟建华 ;

方东明 .

中国专利 :CN103675480B ,2014-03-26

[8]

一种扭摆式微型电场传感器 [P].

方东明 ;

王宇 ;

方奕庚 ;

彭春荣 ;

夏善红 .

中国专利 :CN104459351B ,2015-03-25

[9]

一种微型电场传感器 [P].

王育佳 ;

景龔 ;

韩文 ;

吴健 ;

白晓春 ;

吕平海 ;

耿明昕 ;

杨彬 ;

徐伟锋 ;

李明 ;

鱼小兵 ;

郭季璞 ;

潘晓彤 .

中国专利 :CN114689947A ,2022-07-01

[10]

一种基于电化学掺杂效应的微型电场传感器 [P].

赵孝磊 ;

李陆明 ;

尹毅 ;

于凯 ;

蒋莉梅 ;

赵谡 ;

王亚林 ;

吴建东 .

中国专利 :CN120446607A ,2025-08-08

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