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半导体芯片拾取设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN03800130.6
申请日：
2003-02-03
公开(公告)号：
CN1498419A
公开(公告)日：
2004-05-19
发明(设计)人：
矢岛兴一
鹤岛邦明
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2168
IPC分类号：
H01L2178
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
肖春京
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2004-05-19 | 公开 | 公开 |
| 2006-04-05 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 |
| 2004-07-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |