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一种硅片清洗脱胶夹具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820706157.X
申请日：
2018-05-11
公开(公告)号：
CN208142157U
公开(公告)日：
2018-11-23
发明(设计)人：
季丽
王松华
聂海洲
余志兵
申请人：
申请人地址：
325000 浙江省温州市经济技术开发区滨海十二路500号
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-11-23 | 授权 | 授权 |