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一种工件侧进式双真空室离子束加工系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910483330.3
申请日：
2019-06-04
公开(公告)号：
CN110265279A
公开(公告)日：
2019-09-20
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
410005 湖南省长沙市开福区青竹湖路118号金卓产业园7栋
IPC主分类号：
H01J3718
IPC分类号：
H01J3720
H01J3730
代理机构：
长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) 43213
代理人：
杨斌
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/18 申请日:20190604 |
| 2019-09-20 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-20 | 授权 | 授权 |