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一种等离子喷涂靶材背管的恒温处理设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920885921.9
申请日：
2019-06-13
公开(公告)号：
CN210506494U
公开(公告)日：
2020-05-12
发明(设计)人：
敬正柏
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
IPC主分类号：
C23C4134
IPC分类号：
代理机构：
北京天盾知识产权代理有限公司 11421
代理人：
林晓宏
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-12 | 授权 | 授权 |