集成电路与集成电路的制造方法和评价方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN97121503.0

申请日：

1997-10-16

公开(公告)号：

CN1180933A

公开(公告)日：

1998-05-06

发明(设计)人：

池谷昌久猪口和之

申请人：

申请人地址：

日本东京港区

IPC主分类号：

H01L2350

IPC分类号：

H01L2160 H01L2128 H01L2166 G01R3128

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

吴增勇;萧掬昌

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1998-05-06	公开	公开

共 50 条

[1]

集成电路和制造集成电路的方法 [P].

M·H·菲勒梅耶 ;

A·梅瑟 ;

T·施勒塞尔 ;

F·希尔勒 ;

M·珀尔齐尔 .

中国专利 :CN104518010B ,2015-04-15

[2]

集成电路和制造集成电路的方法 [P].

N·卢贝 ;

P·莫林 ;

Y·米尼奥 .

美国专利 :CN110246752B ,2024-12-13

[3]

集成电路和制造集成电路的方法 [P].

江宏礼 ;

张智胜 ;

陈自强 .

中国专利 :CN113078161B ,2025-01-17

[4]

集成电路和制造集成电路的方法 [P].

B.武特 .

中国专利 :CN104600067A ,2015-05-06

[5]

集成电路和制造集成电路的方法 [P].

N·卢贝 ;

P·莫林 ;

Y·米尼奥 .

中国专利 :CN110246752A ,2019-09-17

[6]

集成电路和制造集成电路的方法 [P].

江宏礼 ;

张智胜 ;

陈自强 .

中国专利 :CN113078161A ,2021-07-06

[7]

集成电路和制造集成电路的方法 [P].

李健兴 ;

吴国晖 ;

庄惠中 ;

陈志良 ;

田丽钧 .

中国专利 :CN111834362B ,2024-05-14

[8]

集成电路和制造集成电路的方法 [P].

李健兴 ;

吴国晖 ;

庄惠中 ;

陈志良 ;

田丽钧 .

中国专利 :CN111834362A ,2020-10-27

[9]

集成电路和制造集成电路的方法 [P].

李运基 ;

金炫中 ;

申成墉 ;

崔仁英 .

韩国专利 :CN120786954A ,2025-10-14

[10]

用于制造集成电路的方法和集成电路 [P].

M.莱姆克 ;

S.特根 ;

M.福格特 .

中国专利 :CN103996660B ,2014-08-20

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