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一种用于电化学机械抛光的抛光部件

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN03204835.1
申请日：
2003-08-04
公开(公告)号：
CN2730553Y
公开(公告)日：
2005-10-05
发明(设计)人：
P·D·巴特菲尔德 L-Y·陈 Y·胡 A·P·曼那斯 R·马伍利乌 S·D·蔡 F·Q·刘 R·威登斯维勒
申请人：
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
B24B3900
IPC分类号：
代理机构：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：
赵蓉民
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2013-09-18 专利权的终止 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101522924116 IPC(主分类):B24B 39/00 专利号:ZL032048351 申请日:20030804 授权公告日:20051005 终止日期:20120804
2005-10-05 授权 授权
共 50 条
[1]
一种用于电化学机械抛光的抛光部件 [P]. 
P·D·巴特菲尔德 ;
L-Y·陈 ;
Y·胡 ;
A·P·曼那斯 ;
R·马伍利乌 ;
S·D·蔡 ;
F·Q·刘 ;
R·威登斯维勒 .
中国专利 :CN2796944Y ,2006-07-19
[2]
一种用于电化学机械抛光的抛光部件 [P]. 
P·D·巴特菲尔德 ;
L-Y·陈 ;
Y·胡 ;
A·P·曼那斯 ;
R·马伍利乌 ;
S·D·蔡 ;
F·Q·刘 ;
R·威登斯维勒 .
中国专利 :CN200970715Y ,2007-11-07
[3]
用于电化学机械抛光的导电抛光部件 [P]. 
L－Y·陈 ;
Y·王 ;
王岩 ;
A·迪布斯特 ;
D·A·卡尔 ;
R·瓦登斯威勒 ;
M·比朗 ;
P·D·巴特菲尔德 ;
R·马夫列耶夫 ;
S·D·蔡 .
中国专利 :CN100398261C ,2004-09-22
[4]
用于电化学机械抛光的导电抛光部件 [P]. 
P·D·巴特菲尔德 ;
L－Y·陈 ;
Y·胡 ;
A·P·曼那斯 ;
R·马伍利乌 ;
S·D·蔡 ;
F·Q·刘 ;
R·威登斯维勒 .
中国专利 :CN100466188C ,2004-05-12
[5]
用于电化学机械抛光的抛光垫 [P]. 
J·G·埃米恩 ;
D·B·詹姆斯 .
中国专利 :CN100385631C ,2005-11-30
[6]
用于电化学机械抛光的抛光垫 [P]. 
罗兰·K·塞维利亚 .
中国专利 :CN1809445A ,2006-07-26
[7]
用于电化学机械抛光的抛光垫 [P]. 
李·M.·库克 ;
戴维·B.·詹姆斯 ;
约翰·V.·H·罗伯兹 .
中国专利 :CN100347825C ,2005-09-07
[8]
一种用于电化学机械抛光的抛光吸附盘机构及电化学机械抛光系统 [P]. 
朱自强 ;
杨渊思 .
中国专利 :CN120533612A ,2025-08-26
[9]
电化学机械抛光装置 [P]. 
倪建明 .
中国专利 :CN105710761A ,2016-06-29
[10]
一种电化学机械抛光设备 [P]. 
吴尚东 ;
史霄 ;
刘福强 ;
尹影 ;
李婷 .
中国专利 :CN119077609A ,2024-12-06
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