一种方便存取硅片的下料盒

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专利类型
实用新型
申请号
CN201520385242.7
申请日
2015-06-04
公开(公告)号
CN204696094U
公开(公告)日
2015-10-07
发明(设计)人
陈文杰 甘大源 薛东波 封春霞 王芳
申请人
申请人地址
257300 山东省东营市广饶县綦公路西首
IPC主分类号
H01L21677
IPC分类号
H01L21673
代理机构
济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232
代理人
王素花
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片下料盒 [P]. 
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[2]
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[6]
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