液滴发生装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721239342.4

申请日：

2017-09-25

公开(公告)号：

CN207385232U

公开(公告)日：

2018-05-22

发明(设计)人：

张谨奕王含李晶李晓蒙毛从清刘云焰钟佳

申请人：

申请人地址：

102209 北京市昌平区未来科技城国家电投集团科学技术研究院有限公司院内A座8层至11层

IPC主分类号：

B01F502

IPC分类号：

B01F304 B01F306

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

黄德海

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-22	授权	授权

共 50 条

[1]

液滴发生装置 [P].

张谨奕 ;

王含 ;

李晶 ;

李晓蒙 ;

毛从清 ;

刘云焰 ;

钟佳 .

中国专利 :CN109550417A ,2019-04-02

[2]

集成式可调速液滴发生装置 [P].

李研 ;

尚广瑞 ;

胡虹 ;

王彬 .

中国专利 :CN204911848U ,2015-12-30

[3]

参数可调型微小液滴发生装置 [P].

仓业峥 ;

陈青 ;

刘键 ;

张超 ;

蒋雪松 ;

许林云 ;

周宏平 ;

施明宏 .

中国专利 :CN209589760U ,2019-11-05

[4]

单颗粒高速液滴发生装置 [P].

金光 ;

冯化超 ;

武文斐 .

中国专利 :CN102210997B ,2011-10-12

[5]

一种液滴发生装置 [P].

施渊吉 ;

王桂花 ;

陈恒 ;

缪昊轩 ;

展熠辉 ;

汤仁颢 ;

吴雨浩 ;

陈泽瑜 .

中国专利 :CN119261384A ,2025-01-07

[6]

一种离心式液滴发生装置 [P].

顾志鹏 ;

张意如 ;

陈跃东 ;

熊灿 ;

宋建军 .

中国专利 :CN210171473U ,2020-03-24

[7]

一种液滴碰撞发生装置 [P].

钱丽娟 ;

丛红钏 ;

林建忠 ;

李文涛 ;

钟笑凯 ;

王艺婷 ;

褚贵东 .

中国专利 :CN110201812A ,2019-09-06

[8]

一种液滴碰撞发生装置 [P].

丛红钏 ;

王艺婷 ;

李文涛 ;

钟笑凯 ;

钱丽娟 ;

褚贵东 .

中国专利 :CN210434719U ,2020-05-01

[9]

一种低温进样的液滴发生装置 [P].

王立言 .

中国专利 :CN222969854U ,2025-06-13

[10]

液滴发生系统及用于EUV光的发生装置 [P].

王豪 .

中国专利 :CN119717412A ,2025-03-28

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