一种高精度图案测量装置

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申请号
CN202220078548.8
申请日
2022-01-13
公开(公告)号
CN216668504U
公开(公告)日
2022-06-03
发明(设计)人
陈宏渊
申请人
申请人地址
226399 江苏省南通市高新区康富路北侧、希望路东侧
IPC主分类号
G01B502
IPC分类号
代理机构
北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825
代理人
周庆佳
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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