微机电器件的制造方法、微机电器件及微机电器件基底结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611052329.8

申请日：

2016-11-25

公开(公告)号：

CN106379858A

公开(公告)日：

2017-02-08

发明(设计)人：

宋焱韩冬马清杰

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区20幢511室

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B702

代理机构：

南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256

代理人：

王锋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101706086965 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2016110523298 申请日:20161125
2017-02-08	公开	公开
2019-10-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B81C 1/00 申请公布日:20170208

共 50 条

[1]

微机电器件基底结构 [P].

宋焱 ;

韩冬 ;

马清杰 .

中国专利 :CN206705672U ,2017-12-05

[2]

微机电器件 [P].

L·巴尔多 ;

E·杜奇 ;

F·F·维拉 .

中国专利 :CN206126836U ,2017-04-26

[3]

微机电器件 [P].

G·阿勒加托 ;

L·奥吉欧尼 ;

M·加拉瓦利亚 ;

R·索玛彻尼 .

中国专利 :CN206635022U ,2017-11-14

[4]

微机电器件 [P].

M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚 ;

E·杜奇 ;

S·尼科利 ;

R·卡姆佩德利 ;

I·瓦里斯科 ;

L·滕托里 .

:CN220766508U ,2024-04-12

[5]

微机电器件 [P].

L·奎利诺尼 ;

P·费德利 ;

L·G·法罗尼 .

中国专利 :CN217808766U ,2022-11-15

[6]

微机电器件和制作微机电器件的方法 [P].

M.贝格迈斯特 ;

T.格里勒 ;

U.黑德尼希 .

中国专利 :CN107473176A ,2017-12-15

[7]

微机电器件的制作方法、及微机电器件 [P].

王春 ;

徐琦 .

中国专利 :CN118083904A ,2024-05-28

[8]

微机电器件结构 [P].

冯栋 .

中国专利 :CN207760035U ,2018-08-24

[9]

微机电器件和用于形成微机电器件的方法 [P].

S.巴尔森 ;

A.德厄 ;

W.弗里萨 ;

W.克莱因 ;

U.克伦宾 .

中国专利 :CN107128870A ,2017-09-05

[10]

微机电器件空腔结构的制作方法、及微机电器件 [P].

范坤 ;

卜德冲 ;

郭大飞 ;

王鹏 .

中国专利 :CN117658056A ,2024-03-08

← 1 2 3 4 5 →