共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-08 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20150429 授权公告日:20191105 终止日期:20210429 |
| 2019-11-05 | 授权 | 授权 |
| 2015-11-04 | 公开 | 公开 |
| 2017-04-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101710972130 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:201510214243X 申请日:20150429 |