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碳化硅晶体生长装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111446990.8
申请日：
2021-11-30
公开(公告)号：
CN114108094A
公开(公告)日：
2022-03-01
发明(设计)人：
燕靖
陈俊宏
申请人：
申请人地址：
221004 江苏省徐州市徐州经济技术开发区软件园E1楼669室
IPC主分类号：
C30B2936
IPC分类号：
C30B2300
代理机构：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人：
赵丽婷
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/36 申请日:20211130 |
| 2022-03-01 | 公开 | 公开 |