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一种多晶硅铸锭用氮化硅涂层的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610932533.2
申请日：
2016-11-01
公开(公告)号：
CN106400109A
公开(公告)日：
2017-02-15
发明(设计)人：
张嵘
刘久明
申请人：
申请人地址：
050000 河北省石家庄市桥西区新石北路368号金石园区4号楼东门302室
IPC主分类号：
C30B2806
IPC分类号：
C30B2906
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-02-15 | 公开 | 公开 |
| 2020-05-22 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C30B 28/06 申请公布日:20170215 |