真空镀膜用遮挡装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920269172.3

申请日：

2009-12-30

公开(公告)号：

CN201605316U

公开(公告)日：

2010-10-13

发明(设计)人：

杨明生刘惠森范继良叶宗锋王曼媛王勇

申请人：

申请人地址：

523018 广东省东莞南城区宏图高新科技开发区东莞宏威数码机械有限公司

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

张艳美;郝传鑫

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-10-13	授权	授权
2020-05-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20091230 授权公告日:20101013 终止日期:20131230
2014-10-22	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706212006 IPC(主分类):C23C 14/04 专利号:ZL2009202691723 申请日:20091230 授权公告日:20101013 登记生效日:无解除日:20140905
2014-10-22	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706212007 IPC(主分类):C23C 14/04 专利号:ZL2009202691723 申请日:20091230 授权公告日:20101013 登记生效日:20140905 解除日:无
2014-01-01	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101684305381 IPC(主分类):C23C 14/04 专利号:ZL2009202691723 申请日:20091230 授权公告日:20101013 登记生效日:20131205 解除日:无
2015-10-14	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721783568 IPC(主分类):C23C 14/04 专利号:ZL2009202691723 申请日:20091230 授权公告日:20101013 登记生效日:无解除日:20150905
2020-02-04	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20091230 授权公告日:20101013 解除日:20191230
2015-10-14	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721787591 IPC(主分类):C23C 14/04 专利号:ZL2009202691723 申请日:20091230 授权公告日:20101013 登记生效日:20150905 解除日:无

共 50 条

[1]

一种真空镀膜用遮挡装置 [P].

李琪 ;

郭红波 ;

蒋艳 .

中国专利 :CN218435916U ,2023-02-03

[2]

一种真空镀膜用遮挡装置 [P].

张文录 ;

江鸢飞 .

中国专利 :CN221460487U ,2024-08-02

[3]

一种真空镀膜遮挡装置 [P].

封玉元 ;

李德勇 ;

袁程军 .

中国专利 :CN221051972U ,2024-05-31

[4]

真空腔体遮挡装置 [P].

杨明生 ;

刘惠森 ;

范继良 ;

叶宗锋 ;

王曼媛 ;

王勇 .

中国专利 :CN101760720A ,2010-06-30

[5]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

杨海成 .

中国专利 :CN216614834U ,2022-05-27

[6]

真空镀膜装置 [P].

李秀虎 .

中国专利 :CN208532920U ,2019-02-22

[7]

真空镀膜装置 [P].

蒋贵霞 ;

贾建国 .

中国专利 :CN210856317U ,2020-06-26

[8]

一种镀膜均匀的真空镀膜装置 [P].

谢廷伟 ;

刘维松 ;

彭学实 .

中国专利 :CN211036085U ,2020-07-17

[9]

一种真空镀膜靶材遮挡装置 [P].

覃应红 ;

罗勇 .

中国专利 :CN221877152U ,2024-10-22

[10]

一种用于真空镀膜的遮挡装置 [P].

陈晓东 .

中国专利 :CN217297993U ,2022-08-26

← 1 2 3 4 5 →