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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-06-19 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/56 申请公布日:20121017 |
| 2013-01-23 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101500993784 IPC(主分类):H01L 21/56 专利申请号:2012101926018 变更事项:发明人 变更前:罗育光;郭小伟;崔梦;马勉之;谌世广 变更后:朱文辉;罗育光;谌世广;王虎;刘卫东 |
| 2012-10-17 | 公开 | 公开 |
| 2015-07-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616553370 IPC(主分类):H01L 21/56 专利申请号:2012101926018 申请日:20120613 |