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一种光刻胶剥离液废液回收系统
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202010016518.X
申请日
:
2020-01-08
公开(公告)号
:
CN111170541A
公开(公告)日
:
2020-05-19
发明(设计)人
:
李向峰
高豹
黄安宁
李星星
桂园芬
余何建
张晟煜
申请人
:
申请人地址
:
246000 安徽省安庆市大观区经济开发区环城西路99号
IPC主分类号
:
C02F910
IPC分类号
:
C02F10120
代理机构
:
合肥中谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34146
代理人
:
洪玲
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-05-19
公开
公开
2020-06-12
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C02F 9/10 申请日:20200108
共 50 条
[1]
光刻胶废液回收装置
[P].
沈军
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沈军
;
韩永霖
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韩永霖
;
林锦昆
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林锦昆
;
郑义承
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郑义承
;
林秋玉
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林秋玉
.
中国专利
:CN114405037A
,2022-04-29
[2]
光刻胶剥离剂废液回收系统及其方法
[P].
廖庭宽
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廖庭宽
.
中国专利
:CN102219272A
,2011-10-19
[3]
光刻胶剥离液废液的回收方法
[P].
魏任重
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魏任重
;
徐雅玲
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徐雅玲
;
黄源
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黄源
;
尹云舰
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尹云舰
;
连杰
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连杰
.
中国专利
:CN102951761A
,2013-03-06
[4]
光刻胶剥离液
[P].
侯军
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侯军
;
吕冬
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吕冬
.
中国专利
:CN101295144A
,2008-10-29
[5]
一种光刻胶剥离液废液过滤装置
[P].
付元涛
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机构:
华璞微电子科技(宁波)有限公司
华璞微电子科技(宁波)有限公司
付元涛
;
章小琴
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机构:
华璞微电子科技(宁波)有限公司
华璞微电子科技(宁波)有限公司
章小琴
.
中国专利
:CN222324446U
,2025-01-10
[6]
一种光刻胶剥离液废液过滤设备
[P].
宋彦磊
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宋彦磊
;
吴兴龙
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吴兴龙
;
马树凤
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马树凤
;
王壮
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王壮
.
中国专利
:CN214809072U
,2021-11-23
[7]
光刻胶废剥离液回收装置
[P].
王鸿岩
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王鸿岩
;
孙浩
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孙浩
.
中国专利
:CN210974492U
,2020-07-10
[8]
一种光刻胶剥离系统及光刻胶剥离方法
[P].
郭昭
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郭昭
;
李炳天
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李炳天
;
王振
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王振
;
邓治国
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邓治国
;
任志明
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任志明
;
晏熙
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晏熙
;
黄超
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黄超
;
刘杰
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刘杰
;
郭荣波
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郭荣波
;
李显杰
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李显杰
.
中国专利
:CN111142342A
,2020-05-12
[9]
一种光刻胶剥离液
[P].
卢燕燕
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卢燕燕
;
张丽燕
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张丽燕
.
中国专利
:CN107037698A
,2017-08-11
[10]
一种光刻胶剥离液
[P].
鄢艳华
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鄢艳华
;
康威
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康威
;
尹静雅
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尹静雅
;
陈昊
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陈昊
.
中国专利
:CN107544215A
,2018-01-05
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