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共轴对位检测光学系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020191498.5
申请日：
2020-02-21
公开(公告)号：
CN211234321U
公开(公告)日：
2020-08-11
发明(设计)人：
李航宇
宋喆男
朱伟岸
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴中经济开发区越溪街道苏旺路328号12幢
IPC主分类号：
G01B1127
IPC分类号：
代理机构：
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103
代理人：
范晴;顾天乐
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-08-11 | 授权 | 授权 |