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衬底传输腔机械手冷却装置和衬底传输腔机械手

被引：0
申请号：
CN202222292772.X
申请日：
2022-08-30
公开(公告)号：
CN218442953U
公开(公告)日：
2023-02-03
发明(设计)人：
贾军朋 王铁刚 张志坡 冯聚坤
申请人：
申请人地址：
050200 河北省石家庄市鹿泉经济开发区昌盛大街21号
IPC主分类号：
F25D1702
IPC分类号：
H01L21687
代理机构：
石家庄国为知识产权事务所 13120
代理人：
王振珍
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2023-02-03 授权 授权
共 50 条
[1]
晶片传输机械手装置 [P]. 
许波涛 ;
郭健辉 ;
易文杰 ;
伍三忠 .
中国专利 :CN2912932Y ,2007-06-20
[2]
传输装置、传输腔室及防止机械手腐蚀的方法 [P]. 
宋智燕 .
中国专利 :CN110335838A ,2019-10-15
[3]
机械手 [P]. 
雷万春 ;
张钦炎 ;
张栩俊 ;
吴爱忠 .
中国专利 :CN204382271U ,2015-06-10
[4]
机械手 [P]. 
邹俊 ;
黄平 .
中国专利 :CN208826620U ,2019-05-07
[5]
机械手 [P]. 
郭俊游 ;
于记良 .
中国专利 :CN207548754U ,2018-06-29
[6]
机械手 [P]. 
王立军 .
中国专利 :CN206484553U ,2017-09-12
[7]
机械手 [P]. 
孟秋华 .
中国专利 :CN202174248U ,2012-03-28
[8]
机械手 [P]. 
曹华利 .
中国专利 :CN204700637U ,2015-10-14
[9]
机械手 [P]. 
雷万春 ;
朱文飞 ;
黄树源 .
中国专利 :CN206366999U ,2017-08-01
[10]
机械手 [P]. 
肖天宝 ;
苏舟 ;
刘浩文 ;
施宣权 ;
杨迅 ;
高云松 ;
黄祥虎 ;
高云峰 .
中国专利 :CN211250062U ,2020-08-14
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