一种阳极层离子源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911081661.0

申请日：

2019-11-07

公开(公告)号：

CN110846624B

公开(公告)日：

2020-02-28

发明(设计)人：

吴忠振余浩洋崔岁寒刘亮亮吴忠灿

申请人：

申请人地址：

518055 广东省深圳市南山区西丽深圳大学城北大园区

IPC主分类号：

C23C1432

IPC分类号：

C23C1456 H01J3708

代理机构：

深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268

代理人：

王永文;刘文求

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/32 申请日:20191107
2020-02-28	公开	公开
2022-10-04	授权	授权

共 50 条

[1]

阳极层离子源 [P].

张晓婵 ;

黄金伟 ;

张建国 ;

杨炬灿 ;

江涛 ;

边明前 ;

彭建林 .

中国专利 :CN223150633U ,2025-07-25

[2]

一种改进型阳极层离子源 [P].

王鸣 ;

陈刚 .

中国专利 :CN108914091B ,2018-11-30

[3]

一种减少溅射污染的阳极层离子源 [P].

郭杏元 ;

曹永盛 ;

马金鹏 .

中国专利 :CN112575306A ,2021-03-30

[4]

一种线性阳极层离子源 [P].

徐书生 ;

王港港 ;

郑力玮 ;

任政豪 ;

乐凯 ;

柳宇震 ;

刘维民 .

中国专利 :CN120089577A ,2025-06-03

[5]

一种新型阳极层离子源 [P].

吴忠振 ;

崔岁寒 ;

黄健 ;

马正永 ;

马梓淇 .

中国专利 :CN115763198B ,2025-09-26

[6]

一种聚焦式阳极层离子源装置 [P].

肖更竭 ;

周晖 ;

赵栋才 ;

马占吉 ;

武生虎 ;

郑军 ;

徐嶺茂 ;

桑瑞鹏 .

中国专利 :CN106653557A ,2017-05-10

[7]

新型耐用的阳极层离子源 [P].

姜翠宁 ;

徐从高 .

中国专利 :CN110867366A ,2020-03-06

[8]

新型耐用的阳极层离子源 [P].

姜翠宁 ;

徐从高 .

中国专利 :CN211208387U ,2020-08-07

[9]

一种阳极层线性离子源 [P].

韩大凯 ;

童洪辉 ;

戴彬 ;

刘晓波 ;

饶敏 ;

赵军 ;

徐丽云 ;

王军生 .

中国专利 :CN201409253Y ,2010-02-17

[10]

一种聚焦型线性阳极层离子源 [P].

陈伟 ;

高生 ;

何国军 .

中国专利 :CN110767522A ,2020-02-07

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