具流量控制的晶圆载具气体填充装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320416056.6

申请日：

2013-07-12

公开(公告)号：

CN203466172U

公开(公告)日：

2014-03-05

发明(设计)人：

卢德茂卢坤镇叶家政郑己祥

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

北京泰吉知识产权代理有限公司 11355

代理人：

张雅军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-05	授权	授权

共 50 条

[1]

具有监控排气端气体特性功能的晶片载具气体填充装置 [P].

周传华 .

中国专利 :CN202888140U ,2013-04-17

[2]

使用了质量流量控制装置的流量控制 [P].

后藤崇夫 ;

田中诚 .

中国专利 :CN101501597B ,2009-08-05

[3]

一种气体流量控制装置及其气体流量控制方法 [P].

魏强 .

中国专利 :CN108231620A ,2018-06-29

[4]

火焰钎焊用气体流量控制装置 [P].

娄江 ;

汪锡云 ;

李杭杭 ;

赵洲灏 .

中国专利 :CN212408669U ,2021-01-26

[5]

含氮气体质量流量控制装置 [P].

孙波 ;

董伟明 .

中国专利 :CN2480840Y ,2002-03-06

[6]

多区域气体流量控制装置 [P].

钟尚骅 .

中国专利 :CN203909634U ,2014-10-29

[7]

气体流量控制 [P].

H-J·施卢特 .

中国专利 :CN106353520A ,2017-01-25

[8]

载具控制方法、载具控制装置和无人载具 [P].

沈沛鸿 ;

付文亮 ;

朱莲 .

中国专利 :CN118244670A ,2024-06-25

[9]

流量控制装置和质量流量控制器 [P].

余啸峰 ;

赵迪 ;

苏乾益 .

中国专利 :CN111853328A ,2020-10-30

[10]

气体流量控制器 [P].

杨兆宝 ;

张向前 .

中国专利 :CN223742997U ,2025-12-30

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