激光退火方法以及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880124168.6

申请日：

2008-05-30

公开(公告)号：

CN101911256B

公开(公告)日：

2010-12-08

发明(设计)人：

河口纪仁川上隆介西田健一郎 M·正木森田胜

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21268

IPC分类号：

H01L2120

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

闫小龙;王忠忠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-18	授权	授权
2010-12-08	公开	公开
2011-01-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101032288330 IPC(主分类):H01L 21/268 专利申请号:2008801241686 申请日:20080530

共 50 条

[1]

激光退火方法以及装置 [P].

河口纪仁 ;

川上隆介 ;

西田健一郎 ;

M.正木 ;

森田胜 .

中国专利 :CN104835725B ,2015-08-12

[2]

激光退火方法以及装置 [P].

河口纪仁 ;

川上隆介 ;

西田健一郎 ;

M.正木 ;

森田胜 .

中国专利 :CN102513701B ,2012-06-27

[3]

激光退火方法以及装置 [P].

河口纪仁 ;

川上隆介 ;

西田健一郎 ;

M.正木 ;

森田胜 .

中国专利 :CN104882371A ,2015-09-02

[4]

激光退火方法以及激光退火装置 [P].

河口纪仁 ;

川上隆介 ;

西田健一郎 ;

M正木 ;

森田胜 ;

芳之内淳 .

中国专利 :CN102057467A ,2011-05-11

[5]

激光退火方法以及激光退火装置 [P].

西田健一郎 ;

川上隆介 ;

河口纪仁 ;

正木深雪 .

中国专利 :CN101356624B ,2009-01-28

[6]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

城户淳二 .

中国专利 :CN106663611A ,2017-05-10

[7]

激光退火方法以及激光退火装置 [P].

次田纯一 ;

町田政志 ;

郑石焕 .

中国专利 :CN104798180B ,2015-07-22

[8]

激光退火装置以及激光退火方法 [P].

张伟光 ;

郑重 .

中国专利 :CN118588607A ,2024-09-03

[9]

激光退火装置、激光退火方法以及有源矩阵基板的制造方法 [P].

野寺伸武 ;

井上智博 ;

小岩真司 ;

道中悟志 .

中国专利 :CN111788658A ,2020-10-16

[10]

激光退火处理装置及激光退火处理方法 [P].

次田纯一 ;

郑石焕 ;

町田政志 .

中国专利 :CN102971833A ,2013-03-13

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