柔性声表面波传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811605608.1

申请日：

2018-12-26

公开(公告)号：

CN109778122B

公开(公告)日：

2019-05-21

发明(设计)人：

冯雪王志建陈颖

申请人：

申请人地址：

314000 浙江省嘉兴市南湖区亚太路906号17号楼

IPC主分类号：

C23C1432

IPC分类号：

C23C1406 C23C1435 C23C1404 C23C1416 G01D548

代理机构：

上海波拓知识产权代理有限公司 31264

代理人：

李萌

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/32 申请日:20181226
2019-08-27	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 14/32 登记生效日:20190807 变更事项:申请人变更前权利人:浙江清华柔性电子技术研究院变更后权利人:浙江清华柔性电子技术研究院变更事项:地址变更前权利人:314000 浙江省嘉兴市南湖区亚太路906号17号楼变更后权利人:314000 浙江省嘉兴市南湖区亚太路906号17号楼变更事项:申请人变更后权利人:清华大学
2022-03-18	授权	授权
2019-05-21	公开	公开

共 50 条

[1]

声表面波传感器及其制作方法 [P].

罗景庭 ;

付琛 ;

陈泽荣 ;

解海雨 ;

冯晓莹 ;

马少敏 .

中国专利 :CN112198221A ,2021-01-08

[2]

柔性声表面波传感器制备方法及柔性声表面波传感器 [P].

梁晓瑞 ;

刘儒屹 ;

张磊 ;

谭秋林 .

中国专利 :CN121067931A ,2025-12-05

[3]

延迟线型声表面波传感器及其制作方法 [P].

张利威 ;

张海峰 ;

孙云龙 ;

廖明 .

中国专利 :CN112729595A ,2021-04-30

[4]

声表面波传感器 [P].

徐静波 ;

张海英 .

中国专利 :CN106404919A ,2017-02-15

[5]

声表面波气体传感器及其制作方法 [P].

李冬梅 ;

周文 ;

刘明 ;

谢常青 ;

侯成诚 ;

汪幸 ;

闫学锋 .

中国专利 :CN102507733B ,2012-06-20

[6]

声表面波湿度传感器及其制作方法 [P].

尹小波 ;

尹堃 ;

郭棋武 ;

胡泽超 .

中国专利 :CN111693601B ,2020-09-22

[7]

声表面波气体传感器及其制作方法 [P].

李昊峰 ;

贾锐 ;

李维龙 ;

陈晨 ;

朱晨昕 .

中国专利 :CN101726538A ,2010-06-09

[8]

声表面波传感器芯片及其制作方法 [P].

李继良 ;

黄歆 ;

王宪刚 ;

杨思川 .

中国专利 :CN101192818A ,2008-06-04

[9]

一种声表面波传感器的制作方法 [P].

董波 .

中国专利 :CN114526833A ,2022-05-24

[10]

声表面波测量传感器 [P].

李天利 ;

朱克敏 .

中国专利 :CN201837405U ,2011-05-18

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