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基于MEMS工艺的碱金属原子微型气室的制备方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911062199.X
申请日：
2019-11-02
公开(公告)号：
CN110759314A
公开(公告)日：
2020-02-07
发明(设计)人：
王锦曦 闫树斌
申请人：
申请人地址：
030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号
IPC主分类号：
B81C100
IPC分类号：
代理机构：
太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100
代理人：
朱源
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-03-03 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20191102
2020-02-07 公开 公开
共 50 条
[1]
碱金属原子气室 [P]. 
付涛 ;
付家铭 .
中国专利 :CN307730738S ,2022-12-16
[2]
碱金属原子气室制作方法及碱金属原子气室 [P]. 
李勇 ;
张继华 ;
李文磊 ;
蔡星周 ;
赵磊 ;
马文彬 ;
周乐兴 .
中国专利 :CN118929566A ,2024-11-12
[3]
碱金属原子气室的制作方法及碱金属原子气室 [P]. 
贾云丛 ;
焦斌斌 ;
刘瑞文 ;
孔延梅 ;
云世昌 .
中国专利 :CN113359404A ,2021-09-07
[4]
一种碱金属原子气室 [P]. 
付涛 ;
付家铭 .
中国专利 :CN220912312U ,2024-05-07
[5]
一种基于MEMS技术的芯片级碱金属原子气室 [P]. 
车录锋 ;
黄帅 .
中国专利 :CN221253903U ,2024-07-02
[6]
一种碱金属原子气室制备方法及原子气室 [P]. 
付涛 ;
付家铭 .
中国专利 :CN114326357A ,2022-04-12
[7]
一种碱金属原子气室 [P]. 
付涛 ;
付家铭 .
中国专利 :CN216595920U ,2022-05-24
[8]
一种微型碱金属原子气室单元的制备方法 [P]. 
孙立凯 ;
徐兴烨 ;
王辉 ;
张鹏 ;
王劲松 ;
陈海涛 .
中国专利 :CN104891431A ,2015-09-09
[9]
一种全玻璃碱金属原子气室的制备方法 [P]. 
李德钊 ;
吴彬 ;
张桂迎 ;
李衎 ;
林强 .
中国专利 :CN110015636B ,2019-07-16
[10]
一种碱金属原子气室制备方法 [P]. 
付涛 ;
付家铭 .
中国专利 :CN114216518B ,2024-03-29
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