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MEMS传感器
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201020154572.2
申请日：
2010-03-11
公开(公告)号：
CN201610373U
公开(公告)日：
2010-10-20
发明(设计)人：
李刚
胡维
申请人：
申请人地址：
215006 江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A02楼213B房间
IPC主分类号：
B81B702
IPC分类号：
代理机构：
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235
代理人：
杨林洁
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-05-04 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101658411717 IPC(主分类):B81B 7/02 专利号:ZL2010201545722 申请日:20100311 授权公告日:20101020 终止日期:20150311 |
| 2010-10-20 | 授权 | 授权 |