一种用于光刻设备的对准装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110068080.0

申请日：

2011-03-21

公开(公告)号：

CN102692827A

公开(公告)日：

2012-09-26

发明(设计)人：

杜聚有宋海军徐荣伟

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-26	公开	公开
2015-07-22	授权	授权
2012-11-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101349723821 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2011100680800 申请日:20110321
2018-10-12	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 9/00 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号变更事项:共同专利权人变更前:上海微高精密机械工程有限公司变更后:上海微高精密机械工程有限公司

共 50 条

[1]

一种用于光刻设备的对准装置和对准方法 [P].

杜聚有 ;

朱婧怡 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN102890433B ,2013-01-23

[2]

一种用于光刻设备的近场对准装置和对准方法 [P].

杜聚有 ;

徐荣伟 ;

宋海军 .

中国专利 :CN102736452A ,2012-10-17

[3]

一种用于光刻设备的对准装置 [P].

周钰颖 ;

陆海亮 .

中国专利 :CN105372943B ,2016-03-02

[4]

一种用于光刻装置的对准方法及系统 [P].

王诗华 .

中国专利 :CN106610571B ,2017-05-03

[5]

一种用于光刻设备的对准装置及对准方法 [P].

周钰颖 ;

陆海亮 .

中国专利 :CN105988309B ,2016-10-05

[6]

用于光刻装置的对准系统、光刻装置及其对准方法 [P].

徐荣伟 .

中国专利 :CN101551593A ,2009-10-07

[7]

用于光刻设备的对准信号处理装置及对准装置 [P].

程鹏 ;

王海江 ;

唐文力 .

中国专利 :CN103425006A ,2013-12-04

[8]

用于光刻设备的预对准装置 [P].

胡松立 ;

姜杰 .

中国专利 :CN102914951B ,2013-02-06

[9]

一种用于光刻设备的对准标记和对准方法 [P].

杜聚有 ;

宋海军 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN101943865A ,2011-01-12

[10]

用于光刻设备的对准装置及方法 [P].

徐兵 ;

陈跃飞 ;

贾翔 ;

杨晓青 .

中国专利 :CN102540782A ,2012-07-04

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