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一种载具及生产线
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920797879.5
申请日：
2019-05-29
公开(公告)号：
CN210620931U
公开(公告)日：
2020-05-26
发明(设计)人：
苏明
申请人：
申请人地址：
251200 山东省德州市（禹城）国家高新技术产业开发区理想空间孵化器创业服务中心二楼205室
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
H01L21677
H01L3118
代理机构：
北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662
代理人：
韩来兵
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-22 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/50 登记生效日:20211011 变更事项:专利权人 变更前权利人:北京晖宏科技有限公司 变更后权利人:东君新能源有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:101400 北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖大街31号（集群注册） 变更后权利人:101400 北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖大街31号 |
| 2020-05-26 | 授权 | 授权 |
| 2021-02-02 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/50 登记生效日:20210120 变更事项:专利权人 变更前权利人:德州易能新能源科技有限公司 变更后权利人:北京晖宏科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:251200 山东省德州市（禹城）国家高新技术产业开发区理想空间孵化器创业服务中心二楼205室 变更后权利人:101400 北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖大街31号（集群注册） |