一种位置检测传感器、晶圆盒位置检测装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011269843.3

申请日：

2020-11-13

公开(公告)号：

CN112378354B

公开(公告)日：

2021-02-19

发明(设计)人：

华小伟王超

申请人：

申请人地址：

510000 广东省广州市黄埔区中新广州知识城凤凰5路28号

IPC主分类号：

G01B2100

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/00 申请日:20201113
2022-09-30	授权	授权
2021-02-19	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆位置检测装置和检测方法 [P].

王坚 ;

赵宇 ;

吴均 ;

陈福发 ;

王晖 .

中国专利 :CN103515264A ,2014-01-15

[2]

位置检测传感器、位置检测装置以及位置检测方法 [P].

福岛康幸 .

中国专利 :CN102866813A ,2013-01-09

[3]

位置检测传感器、位置检测装置 [P].

福岛康幸 .

中国专利 :CN202720625U ,2013-02-06

[4]

位置检测传感器单元及位置检测装置 [P].

佐藤雄太 .

中国专利 :CN103034361B ,2013-04-10

[5]

位置检测传感器单元及位置检测装置 [P].

佐藤雄太 .

中国专利 :CN202870773U ,2013-04-10

[6]

位置检测装置、传感器及位置检测方法 [P].

宫泽透雄 ;

川俣直子 ;

宗像博史 ;

横田贤 .

中国专利 :CN102023748A ,2011-04-20

[7]

位置检测传感器以及位置检测装置 [P].

小堀武 ;

岸尚子 .

中国专利 :CN109426369A ,2019-03-05

[8]

位置检测传感器和位置检测装置 [P].

松浦光儿 ;

泉泽武琉 ;

伊藤雅充 .

中国专利 :CN115079845A ,2022-09-20

[9]

位置检测传感器以及位置检测装置 [P].

岩本尚久 .

中国专利 :CN102880365A ,2013-01-16

[10]

位置检测传感器以及位置检测装置 [P].

岩本尚久 .

中国专利 :CN202870788U ,2013-04-10

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